Création d’un laboratoire commun dédié à l’optimisation et à l’automatisation des procédés MBE

>> Riber est un spécialiste mondial d’équipement MBE (Molecular Beam Epitaxy)

Riber, spécialiste mondial d’équipement MBE pour l’industrie des semi-conducteurs, et le Laboratoire d’analyse et d’architecture des systèmes du CNRS (Laas-CNRS) de Toulouse ont annoncé la création du laboratoire commun Epicentre/ Laas-Riber, au sein duquel ils partageront, pour une durée de six ans, leurs compétences respectives en MBE (Epitaxie par Jets Moléculaires ou Molecular Beam Epitaxy). L’objectif d’Epicentre est de mettre en place une stratégie d’innovation technologique dans le domaine de la MBE à travers une gouvernance commune et un plan de recherche conçu pour déboucher sur le développement d’un ensemble de briques technologiques.

Le premier axe technique repose sur le développement d’un ensemble d’outils de mesure in situ complémentaires et non destructifs, capables de fournir une maîtrise ultime des procédés épitaxiaux de matériaux complexes. L’ambition est d’apporter des solutions permettant d’améliorer considérablement les procédés MBE afin de proposer une plus grande automatisation, stabilité et reproductibilité des procédés de croissance sur l’ensemble des gammes de machines Riber. Le second axe technique d’Epicentre porte sur le développement d’une solution dédiée à la croissance de matériaux supraconducteurs pour la filière « datacom », plus précisément dans le domaine de l’ordinateur quantique, en adressant spécifiquement le verrou technologique de l’épitaxie à température cryogénique. L’ambition est d’inventer de nouvelles interfaces hybrides épitaxiées, qui seront les briques élémentaires de futurs composants spintroniques et quantiques.

Programme porteur d’innovations 

Des solutions pour la croissance de composants complexes (VCSEL, cellules solaires à multi-jonction) seront également développées afin de démontrer l’efficacité et la pertinence de ces outils de mesures in situ, en vue d’une production de masse. Parallèlement, Epicentre initiera un travail d’apprentissage par machine learning, forte attente de la communauté MBE, pour optimiser l’analyse du processus de croissance des matériaux.

Le programme doit se concrétiser par la conception d’une plateforme MBE, jusqu’alors sans égal sur le marché, dédiée à la croissance de structures complexes III-V et supraconductrices et intégrant des processus automatisés de contrôle avancé. Dans cette perspective, la centrale de micro-nano technologies du Laas-CNRS de Toulouse recevra prochainement une plateforme mise à disposition par Riber. 

EQUIP PROD • N°129 Juin 2021